超聲波作為能量存在于液體中作為替代性的稀疏波和液體本身的壓縮。在稀疏過程中，形成小型真空腔，然後破潰，或内爆。在壓縮過程中，這種持續和快速的過程，稱為空穴作用，是用于提供更好清洗效果的超聲波擦洗過程。

        有三個要素作用于該擦洗過程：

      （1）液體脫脂的程度

      （2）超聲波頻率

      （3）在特定溫度下的清洗液的化學特性

        排氣是清除液體中不需要的空氣。由于氣穴的形成，他們充滿了不必要的空氣泡沫以抗擊破潰，并懸浮在液體中。這些氣泡充當了“減震器”，這必然減少了清洗效率。空氣量可以通過定期轉換而減少或調制，全部的能量使相鄰的氣泡凝聚，浮到液體表面，并逸出。該調制方式是重要的，對于脫氣和清洗效率之間的正确平衡，必須選擇于每個清洗應用。

        頻率決定了空穴的大小以影響清洗的效率。如發出低頻率25千赫，能産生較大，但相對較少的空穴。高頻率産生了衆多的小的空穴，并具有良好的滲透和穿透能力。選擇正确的頻率區間是困難的，因為每個清洗應用各不相同。頻率也會影響脫氣過程，目前市面上主流選擇以20和40千赫為主。